Model-based analysis and design of atomic layer deposition processes
- Författare
- Anders Holmqvist
- (Anders Holmqvist., Diss. Lund : Lunds universitet, 2013)
- Genre
- theses, Avhandlingar
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Chemical Engineering, Lund University | 2013 | Sverige, Lund | xv, 321 sidor. ill. | 978-91-7473-740-0 |